Səyahət Aralığı
20 mm
Görüntü imkanı
0.125μm
Təkrarlanma qabiliyyəti
＜1μm
Düzlük
＜2μm
Paralellik
＜5μm
Pitching
10"（50μrad)
Əsnəmək
Maksimum Sürət
5 mm/san
Yük tutumu
10kq
Çəki
1,5 kq
